超高世代TCT-LCD生產(chǎn)線設(shè)計(jì)技術(shù)
超高世代TFT-LCD生產(chǎn)線設(shè)計(jì)技術(shù)
世源科技工程有限公司與中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司及中建一局集團(tuán)建設(shè)發(fā)展有限公司共同完成“超高世代（10代以上）TFT-LCD生產(chǎn)線設(shè)計(jì)關(guān)鍵技術(shù)研究與產(chǎn)業(yè)化”研究成果。
研究成果形成多項(xiàng)10代以上TFT-LCD生產(chǎn)線設(shè)計(jì)的關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新：
創(chuàng)新點(diǎn)1：提出了具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超高世代TFT-LCD顯示器件生產(chǎn)線工藝仿真及組線技術(shù)
? ? ? ? 優(yōu)化了工藝生產(chǎn)流程、設(shè)備布局、縮短物流傳送距離；
? ? ? ? 使生產(chǎn)線從點(diǎn)亮到量產(chǎn)僅需6個(gè)月，產(chǎn)品良率迅速完成穩(wěn)定在92%以上，創(chuàng)造平板顯示產(chǎn)業(yè)速度和良率水平。
? ? ? ? 平均節(jié)約項(xiàng)目建設(shè)安裝（不含工藝設(shè)備）17%的投資；
? ? ? ? 節(jié)省TFT-LCD工廠中潔凈室面積20%。
創(chuàng)新點(diǎn)2：首創(chuàng)建立了“高世代TFT-LCD生產(chǎn)線納米級(jí)防微振控制技術(shù)體系” ?
?? ? ? 提出了基于“原位測(cè)試+仿真分析+實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證”的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)方法；
?? ? ? 自研場(chǎng)地微振動(dòng)測(cè)試數(shù)據(jù)庫(kù)，微振動(dòng)分析模型。
?? ? ? 提出了精密儀器設(shè)備的微振動(dòng)控制方法，發(fā)明了多種型號(hào)防微振基臺(tái)。
創(chuàng)新點(diǎn)3：超大面積潔凈環(huán)境控制技術(shù)+超高潔凈度微環(huán)境控制技術(shù)
?? ? ? 建立了超大潔凈廠房CFD氣流仿真模擬技術(shù)；
?? ? ? 研發(fā)了凈化空調(diào)系統(tǒng)溫水淋水加濕空氣處理技術(shù)；
?? ? ? 保障超大面積（40萬(wàn)㎡）潔凈室的超高溫濕度精度（溫度控制精度23℃±1℃、相對(duì)濕度控制精度55%±3%）控制要求。
創(chuàng)新點(diǎn)4：TFT-LCD廠房極端超長(zhǎng)的鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)裂縫控制技術(shù)
?? ? ? 通過(guò)選材、設(shè)計(jì)及施工控制的綜合措施，解決了鋼筋混凝土框排架廠房的極端超長(zhǎng)（550m）無(wú)伸縮縫結(jié)構(gòu)的裂縫控制技術(shù)。
?? ? ? 突破了《混凝土結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)規(guī)范》關(guān)于室內(nèi)伸縮縫最大間距55m的要求。
創(chuàng)新點(diǎn)5：研發(fā)了高精度、高品質(zhì)超純水制備系統(tǒng)
?? ? ? 首創(chuàng)制訂出適用第10.5代TFT-LCD的超純水水質(zhì)指標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)，并準(zhǔn)確定義各指標(biāo)參數(shù)。
?? ? ? 研發(fā)10.5代TFT-LCD生產(chǎn)線超純水最佳處理工藝流程；
?? ? ? 提出超純水制備的梯級(jí)處理系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)節(jié)能超過(guò)20%；
?? ? ? 工藝?yán)鋮s循環(huán)水系統(tǒng)中確定閉式系統(tǒng)，節(jié)能超過(guò)35%；
?? ? ? 首創(chuàng)提出超純水30%~40%循環(huán)附加量的最佳實(shí)踐；
?? ? ? 提出超純水供水管網(wǎng)必須設(shè)置三管式同程管網(wǎng)的要求。
創(chuàng)新點(diǎn)6：提出“物化+水解酸化+生物處理+RO”組合方式的電子含氟/堿/酸廢水處理技術(shù)
?? ? ? 提出“物化+水解酸化+生物處理+RO”組合方式的電子含氟/堿/酸/有機(jī)廢水處理技術(shù)。
?? ? ? 通過(guò)設(shè)置不同的處置流程，控制藥劑劑量等方式，實(shí)現(xiàn)TFT-LCD廢水的清污分流；
?? ? ? 回收水系統(tǒng)按照TOC濃度，采用多種處理手段，回用于超純水系統(tǒng)或中水系統(tǒng)，綜合回用率可達(dá)到70%。
創(chuàng)新點(diǎn)7：基于產(chǎn)品工藝流程的產(chǎn)品制造和工廠建造高效節(jié)能技術(shù)
?? ? ? 4次光刻技術(shù)，可以縮短工藝時(shí)間，降低生產(chǎn)成本，減少原材料消耗，并使設(shè)備利用率顯著提高，減少設(shè)備投資，或在設(shè)備配置相同的情況下提高產(chǎn)能約20%。
?? ? ? 噴墨打印技術(shù)，與傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂布技術(shù)相比，節(jié)省60%以上的材料，同時(shí)減少工藝步驟和節(jié)省能耗。
?? ? ? 用純水替代異丙醇清洗技術(shù)，有效減少化學(xué)品使用及污染物的排放；
?? ? ? 傾斜式清洗技術(shù)，使積存在基板表面的藥液量降低40%，所排放的廢水濃度和純水使用量都相應(yīng)降低。